7月14日，华海清科股份有限公司（简称“华海清科”，股票代码：688120）全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT顺利出机，发往国内逻辑芯片制造领域龙头企业。这一重要时刻标志着华海清科成功实现面向先进制程芯片制造的大束流离子注入机各型号的全覆盖。据了解，离子注入装备是集成电路制造前道工艺的关键装备，技术壁垒高，国内集成电路制造企业主要依赖进口装备，国产替代空间巨大。为此，华海清科着力打造高端离子注入装备，本次发往客户端的低温离子注入机，不仅继承了最新一代大束流离子注入机iPUMA-LE的先进设计，在拥有更大束流、更好均匀性及更精准角度控制的同时，采用了耐低温静电载盘技术，以全套自主研发的国产化温控系统，成功实现了工艺温度的精准闭环控制，其性能已达到国际主流工艺水平。