盛美上海は11月18日、フォトレジスト塗布現像トラック設備を発表し、同社がフォトレジスト塗布現像トラック市場に本格的に進出したことを示した。これは同社が洗浄、フォトレジスト塗布、現像分野での専門技術を向上させた必然的な結果でもある。

盛美上海の塗布現像Track設備は300ミリウエハ技術に応用された設備で、均一な下降気流、高速で安定したロボットハンドリング及び強大なソフトウェアシステムを提供でき、それによって顧客の特定の需要を満たすことができる。この設備は機能が多様で、製品の欠陥率を下げ、生産能力を高め、全体所有コストを節約することができる（COO）。塗布現像トラック装置は、i-line、KrF、ArFシステムを含む様々なリソグラフィプロセスをサポートします。